高溫爐操作規(guī)程
一、 準(zhǔn)備工作
a、檢查連接線是否正常。
b、檢查電源線接觸是否良好。
c、檢查密封性是否正常。
d、檢查冷卻水是否正常。
e,、準(zhǔn)備所需工具：無水酒精、無塵紙、作業(yè)手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車、不銹鋼托盤
二、開爐
a、打開主電源開關(guān)
b、向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板
c、將輸送車開關(guān)打至 OUT
d、清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三、裝料
a、將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。
b、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會(huì)到初始位置。
c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門。
四、抽氣
a、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封。
b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計(jì)開關(guān) P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測試泄漏率。
c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣（20L/min）。
d、加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN，開始工藝加熱。
e、冷卻。加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻。
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